導(dǎo)熱液（電子氟化液）

應(yīng)用鄰域：半導(dǎo)體和平板顯示器制造設(shè)施中的離子植入器、 干燥蝕刻機(jī)和 CVD 機(jī)器的冷卻。 測(cè)試設(shè)備該流體可用于冷卻半導(dǎo)體熱沖擊和測(cè)試設(shè)備。超級(jí)計(jì)算機(jī)和敏感軍事電子的直接接觸單相和雙相冷卻。